光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。它可以埃級分辨率對表面進(jìn)行高分辨率測量。該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統(tǒng)的相干掃描干涉技術(shù)（CSI）。本產(chǎn)品進(jìn)一步擴(kuò)展了這些技術(shù)，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設(shè)置，并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對大臺階高度進(jìn)行高速測量。

 

　　光學(xué)輪廓儀測量技術(shù)的優(yōu)勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無關(guān)，因而能夠在大視野范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨率測量。測量區(qū)域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結(jié)果而進(jìn)一步增加。產(chǎn)品的用戶界面創(chuàng)新而簡單，適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。

 

　　光學(xué)輪廓儀的主要應(yīng)用：

　　1、臺階高度：納米到毫米級別的3D臺階高度；

　　2、紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度；

　　3、外形：3D翹曲和形狀；

　　4、應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力；

　　5、薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度；

　　6、缺陷檢測：捕獲大于1μm的缺陷；

　　7、缺陷復(fù)檢：采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置。

 

　　儀器特性：

　　1、大視場下高的垂直分辨率；

　　2、從0.5x到200x不同放大倍率實(shí)現(xiàn)不同面型和織構(gòu)表面的表征；

　　3、硬件的優(yōu)化設(shè)計(jì)進(jìn)一步的儀器抗噪聲能力、系統(tǒng)靈活性和測量穩(wěn)定性；

　　4、激光自校準(zhǔn)技術(shù)使得儀器間測量數(shù)據(jù)一致，保證測量的重復(fù)性和準(zhǔn)確性；

　　5、優(yōu)異的縫合能力可以對上千個數(shù)據(jù)無縫拼接，實(shí)現(xiàn)樣品大面積檢測；

　　6、多核處理器和64位軟件使數(shù)據(jù)分析速度提高十倍以上。