光學膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運用在生產廠商大量生產產品的過程,由于誤差經常會導致產品全部報廢,這時候就需要運用光學膜厚儀來介入到生產環境,避免這種情況的發生。
典型應用領域:
半導體制造業,光刻膠、氧化物、硅或其他半導體膜層的厚度測量;
生物醫學原件:聚合物/聚對二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層;
微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡;
液晶顯示器:盒厚;聚酰亞胺;導電透明膜。
儀器的使用優點:
1、測量數據多樣:可以測得物體的膜厚度和n,k數據,這是其它類型的膜厚儀所不具備的特點;
2、測量快速:光學膜厚儀的測量過程非常快速,因為該設備采用了先進的結構設計,能夠極大程度的提升測量效率,相比于其他類型膜厚測量設備來說顯得非常輕巧方便;
3、非接觸式測量:光學膜厚儀采用的原理是通過光的反射原理對膜層厚度進行測量,屬于非接觸式測量方法,不會對樣品造成任何損傷,能夠保證樣品的完整性;
4、適用范圍廣:光學膜厚儀的適用范圍非常廣泛,從普通家用到工廠的工業生產,再到大學實驗室和科學研究所,都可以看到它的身影,由此可見它的使用范圍極其廣泛,能夠作業的場合也變得更加多樣化。
光學膜厚儀的使用注意事項:
1、零點校準:在每次使用膜厚儀之前需要進行光學校準,因為之前的測量參數會影響該次對物體的測量,零點校準可以消除前次測量有參數的影響,能夠降低測量的結果的誤差,使測量結果更加精確。
2、基體厚度不宜過薄:在使用光學膜厚儀對物體進行測量時基體不宜過薄,否則會極大程度的影響儀器的測量精度,造成數據結果不準確,影響測量過程的正常進行。
3、物體表面粗糙程度:對于被測物體的表面不宜太過粗糙,因為粗糙的表面容易引起光的衍射,降低了光學膜厚儀的測量精度,造成很大的誤差。所以被測物體的表面應該盡量保持光滑,以保證測量結果的精確性。