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EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機(jī) 全自動的臨時鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)）可在一個自動化工具中實(shí)現(xiàn)整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加，烘焙，將設(shè)備晶圓與載體晶圓的對準(zhǔn)和鍵合開始。

EVG820層壓站（晶圓鍵合機(jī)） 用于將任何類型的干膠膜自動，無應(yīng)力地層壓到載體晶片上。這項(xiàng)*的層壓技術(shù)可對卷筒上的膠帶進(jìn)行打孔，然后將其對齊并層壓到晶圓上。

EVG850 DB-自動解鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)） 經(jīng)過處理的臨時鍵合晶圓疊層被分離和清洗，而易碎的設(shè)備晶圓始終在整個工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光，熱剝離和機(jī)械剝離。

EVG 510-晶圓鍵合機(jī)（EVG鍵合機(jī)） 是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。

EVG620 BA自動晶圓鍵合機(jī) 用于晶圓間對準(zhǔn)的自動化鍵合對準(zhǔn)機(jī)系統(tǒng)，用于研究和試生產(chǎn)。

EVG301-超聲波晶圓清洗機(jī)-晶圓鍵合機(jī) 基本功能：研發(fā)型單晶圓清洗系統(tǒng)（晶圓清洗機(jī)）。