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薄膜厚度測量的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件：分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo是一個(gè)模塊化和可擴(kuò)展平臺的光學(xué)測量設(shè)備，用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。

FR-Mic 多層膜厚度測試儀是一款快速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，可以將光斑縮小到幾個(gè)微米，進(jìn)而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。

硬化涂層膜厚儀是一款快 速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。

FR-uProbe-LC: 可測量小至幾微米的光斑尺寸應(yīng)用，例如微圖案表面、高粗糙度表面的樣品等等只需單擊鼠標(biāo)即可在 Vis/NIR波長范圍中測量微小區(qū)域薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、反射率、透射率和吸光度

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)，用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程，通過真空固定在載臺上時(shí)進(jìn)行精確測量。可依測量厚度和波長范圍應(yīng)用需求可在在 200-1700nm 光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置