相關文章
Related ArticlesLODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
微流控缺陷檢測 Nanotronics nSpec Macro可以照亮樣品的整個面,或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場,暗場,正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED,配合使用可調節照明的強度,顏色和位置。
Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測光學系統是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發展,配方保存和修改也是非常方便的。