當前位置:首頁 > 產品中心 > 3D形貌儀/白光干涉輪廓儀 > 彩色共聚焦輪廓儀 > QuickPRO-3D--表面輪廓儀
產品分類
Product Category詳細介紹
•適用于光學、工業和半導體市場的高速、中精度、經濟實惠的表面輪廓儀
•納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點和線傳感器)
•為在線過程測量和控制而設計
•結構緊湊,易于上下片和操作
•可配制成獨立系統(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z)
•多種樣品處理能力
–單一數控加工的非球面透鏡( ?可達100mm)
–托盤中的小型模塑透鏡
–自由曲面光學器件(無旋轉對稱) 半導體,MEMs,LED,OLED,光子晶圓
特點:
•可在納米分辨率下測量大的臺階高度(>1mm)
•適用于較大和較重的零件、不規則幾何形狀
產品咨詢