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QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結合,可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導體、生命科學和制藥行業的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優化。
系統特點
· 緊湊的臺式裝置,帶環境外殼
· 單點、非接觸式、可見光、光譜域光學相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器,測量速率高達 66 kHz
· 針對測量高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度進行了優化
· 納米編碼的 X/Y/Z 運動,帶有磁性直線電機和交叉滾子軸承,可在 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 上快速光柵或螺旋掃描
· 可用于樣品和托盤固定的真空吸盤
· 用戶友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、數據采集、表面形貌和多層薄膜分析軟件允許優化測量采樣密度,從而在最高通量下實現最佳覆蓋
SD-OCT技術概述
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