京東店鋪：https://mall.jd.com/index-14245730.html
阿里巴巴工廠店：https://hfwyskj.1688.com/
淘寶店鋪：https://wyskj.taobao.com/
百度愛(ài)采購(gòu)店鋪：https://b2b.baidu.com/shop/50136699
劉經(jīng)理：152-5621-8430（微信同步）張經(jīng)理：180-1997-1423（微信同步）
范經(jīng)理：184-5516-7984（微信同步）
產(chǎn)品展示
PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品概述：OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動(dòng)開(kāi)啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源，三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)（量程為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM）,直徑為60mm的開(kāi)啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。
-
?電源：220V 50/60Hz
?額定功率：3.1 KW
?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）
?連續(xù)工作溫度：≤1100℃?推薦升溫速率：≤10℃/min
?加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
?熱電偶：K 型
?加熱元件：鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
?爐管尺寸：石英管口徑可選φ60
?控溫精度：±1℃
-
- 詳細(xì)描述：
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)
滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng) —— OYS-1200C-II-60-PECVD（φ60）
主要產(chǎn)品參數(shù)
?電源：220V 50/60Hz
?額定功率：3.1 KW
?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）
?連續(xù)工作溫度：1100 ℃
?推薦升溫速率：≤10℃/min
?加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
?熱電偶：K型
主要特點(diǎn)
?射頻電源可以實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；
?可通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升降溫；
?可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力；
?可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)控制化學(xué)計(jì)量；
?可沉積各種材料，如SiOx,SiNx,SiOxNy和（a-Si:H）等；
加熱元件
?鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
爐管尺寸
?石英管口徑可選:φ60
溫控系統(tǒng)
?包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能；
?控溫精度：±1℃
等離子射頻電源
300W射頻電源
?輸出功率：0-300W可調(diào)
?射頻頻率：13.56MHZ
?自動(dòng)匹配
?噪音＜50dB
?冷卻方式：風(fēng)冷
?輸入電壓：AC180-250V
真空密封
法蘭接口
?標(biāo)配：一對(duì)不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈；出氣端為三口法蘭分別為K16,KF25,φ8.2
?出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接再于真空泵相連；
真空泵
?采用雙旋片式機(jī)械真空泵TRP-12
?真空度可以達(dá)到10-2torr；
?真空連接配件配有KF25卡箍及不銹鋼波紋管用于連接管式爐與真空泵；
供氣系統(tǒng)
三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)---GYS-3Z
?電源：220V 50/60HZ
?量程范圍分別為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM
?有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接
?壓力表量程:-0.1~0.15MPa
?混氣罐尺寸: φ80*120mm
?內(nèi)部連接管道為?6.35
爐體結(jié)構(gòu)
?爐體可以左右位移 ，射頻電源可以左右位移，爐體和射頻電源同時(shí)安裝在同一個(gè)滑軌上，使用同一根石英管
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件
?整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)；核心零部件有ABB電器元件，UL認(rèn)證電線、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。
注意事項(xiàng)
?爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA；
?由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；
?對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生(如爐 管破裂，法蘭飛出等)；
?氣體的流量應(yīng)限制在<200 SCCM(或200ml/ min)
售后
?質(zhì)保期一年，終身維護(hù)，24小時(shí)在線服務(wù)；
?特別提示：耗材部分如加熱元件、爐管、坩堝等不包括在內(nèi)；因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
- 產(chǎn)品中心
VIP設(shè)備客戶銷售熱線
- 劉總：15256218430
- 范總：18455167984
設(shè)備銷售熱線固定電話：0551-63648582
- 張經(jīng)理：18019971423
- 薛經(jīng)理：18019574373
- 企業(yè)郵箱：liuxinling@hfxys.email
- 阿里巴巴店鋪：https://hfwyskj.1688.com/
- 百度愛(ài)采購(gòu)店鋪：https://b2b.baidu.com/shop/50136699
- 化工儀器網(wǎng)：http://www.hfxyskjzb.com/
- 供應(yīng)商網(wǎng)：https://weiyuansushi.gys.cn/
Copyright ? 2025 合肥微元素實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司 . 版權(quán)所有 備案號(hào)：皖I(lǐng)CP備2023003053號(hào)
